AYUDA PARQUES JAVIER MARTI SENDRA

Año de inicio 2018
Organismo financiador CONSELLERIA DE EDUCACION, INVESTIGACION, CULTURA Y DEPORTE
Tipo de proyecto APOYO COMP. TRANSF. Y DIFUSIÓN
Responsable científico Martí Sendra Javier
Resumen Las actuaciones que se pretenden realizar consisten en el diseño y desarrollo de un nuevo proceso de crecimiento y deposición de recubrimientos de láminas delgadas de oro (Au) mediante la técnica de “Electroplating”, para su incorporación en el proceso de fabricación de dispositivos fotónicos así como en el proceso de encapsulado final de los dispositivos, para dotar de mayor capacidad y versatilidad a los procesos de “Nanofabricación” que se llevan a cabo en el Instituto Universitario de Tecnología Nanofotónica (NTC) de la UPV. El coste de dicha actuación asciende a 21.500¿. El diseño de una nueva celda electrolítica y la adquisición de los reactivos químicos necesarios para el crecimiento de depósitos metálicos de oro permitirá la adaptación de esta técnica a las necesidades de fabricación de los dispositivos fotónicos sobre sustratos de Silicio o sustratos “Silicon On Insulator” (SOI). Estos sustratos, utilizados comúnmente en los procesos de nanofabricación fotónica pueden adoptar diferentes dimensiones dependiendo de su aplicación específica. De esta manera, el desarrollo de un diseño innovador de la celda electrolítica para obtener recubrimientos de Au, en cuanto a la configuración dimensional como en volumen, así como a los reactivos químicos utilizados, permitirá incluir mayor capacidad y versatilidad de la línea de fabricación existente. Estos prototipos de celdas electrolíticas se fabricarán en diversos e innovadores materiales utilizando técnicas de fabricación con impresión 3D. Dicha funcionalidad es clave en numerosas aplicaciones de distintos campos (Computación, Telecomunicaciones, Iluminación, Biosensado o Espacio) y, sin duda alguna, permitirá ampliar el portafolio tecnológico del NTC ofrecido a través de la Red de Salas Blancas de Micro y Nanofabricación (MICRONANOFABS) (www.micronanofabs.org) junto con el CNM (Centro Nacional de Microelectrónica) y el CT-ISOM (Central de Tecnología del Instituto de Sistemas Opto-Electrónicos) en el marco de las Infraestructuras Científicas y Tecnológicas Singulares (ICTS) aprobadas por el Ministerio de Economía y Competitividad (MINECO).