Procesado de micro/nanofabricacion en obleas de silicio de 6 pulgadas

La demanda actual de capacidad, velocidad y aplicaciones de los sistemas de comunicaciones requiere de dispositivos y sistemas cada vez más potentes y con más funcionalidades. Se precisa de dispositivos capaces de trabajar con luz para evitar los cuellos de botella introducidos por los sistemas eléctricos y de conversión optoelectrónica.

Esto implica una reducción del tamaño de los circuitos y un cambio en los materiales empleados. Se requiere de técnicas de micro y nano fabricación que permitan la obtención de este tipo de dispositivos. Estas misma técnicas de nanofabricación pueden ser empleadas para la fabricación de otra serie de componentes y dispositivos como células fotovoltaicas, sensores ópticos, MEMS y metamateriales.

El Centro de Tecnología Nanofotónica ofrece como capacidad la fabricación de circuitos fotónicos, células fotovoltaicas y MEMS, así como una amplia experiencia en el desarrollo de nuevos procesos de fabricación de dispositivos a medida.

Desde el NTC trabajamos en la fabricación de dispositivos ópticos pasivos, incluyendo circuitos ópticos integrados y tecnología de fabricación basada en las propiedades de los cristales fotónicos y anillos resonantes.

En concreto, los circuitos ópticos pasivos diseñados y fabricados por el NTC son: filtros ópticos, acopladores en fibra óptica, multiplexores/demultiplexores, add-drop multiplexers (ADMs) y compensadores de dispersión.

También ofrecemos nuestra capacidad y conocimiento en integración de subsistemas para fibra óptica como módulos láseres y módulos receptores ópticos para transmisiones ópticas digitales y analógicas (video analógico y digital, telemetría/telecontrol, telefónica móvil celular, etc.).

El Centro de Tecnología Nanofotónica dispone de las capacidades para realizar un proceso completo de nanofabricación.

El equipamiento del NTC de última generación para procesado sobre obleas de 6' es el siguiente: - Litografía: Raith 150 e-beam direct writing, Nikon I-line stepper, TEL- mark8 Developer, TEL- mark8 Coater. - Deposición de polysilicio y dieléctricos con control preciso del índice de refracción - Ataque y limpiezas químicas: FSI Mercury reactor, SEMITOOL organic solvent system. - RIE: ataque de polysilicio y dieléctricos. ICP para ataques de óxido con alta relación de aspecto. - Rapid thermal annealing. - Caracterización física: HITACHI SEM para x-section de muestras pequeñas y análisis de composición, JEOL FIB para x-section in situ y análisis de obleas de 6'. - Laboratorio completo para preparación de muestras.

Además, se dispone de una sala limpia, donde se encuentran instalados los mencionados sistemas, de clase 10 a clase 1000 que permite un control preciso en las condiciones de fabricación, asegurando repetibilidad y fiabilidad en la fabricación.

El NTC lleva fabricando dispositivos nanofotonicos desde 2004. Dentro del personal del NTC hay personas con experiencia previa en empresa del sector com Lucent, Pirelly Labs y ST realizando funciones de fabricación en sala limpia de dispositivos para microelectrónica así como dispositivos nanofotónicos. También se posee experiencia previa en el diseño de dispositivos, desarrollo de procesos de fabricación y control de procesos.

Aplicaciones

  • Fabricación de dispositivos ópticos pasivos (filtros, acopladores, multiplexores/demultiplexores, compensadores de dispersión, módulos de inserción-extracción de canales en enlaces WDM, sistemas y dispositivos de acoplo, sensores ópticos)
  • Integración de subsistemas para fibra óptica (módulos láser y módulos receptores).

Ventajas técnicas

  • El uso de dispositivos ópticos en el campo de las comunicaciones ópticas permite una mayor velocidad.
  • También permite el aumento del ancho de banda y por tanto, la cantidad de servicios transportados al usuario final.
  • El desarrollo de sensores ópticos permite una mayor independencia de las condiciones del entorno, reduce el tamaño del dispositivo, evita los costosos sistemas de alimentación y tiene un menor número de falsas alarmas que los equivalentes sistemas eléctricos.

Beneficios que aporta

  • Reducción de costes económicos
  • Contribución al aumento de valor
  • Mejora para el ámbito tecnológico en la Comunitat Valenciana
  • La "conversión" de dispositivos electrónicos en dispositivos ópticos permite un aumento de la velocidad de procesado y de los servicios que pueden llegar al usuario final. También consigue una reducción de tamaño y de los requisitos de alimentación de los componentes.

Experiencia relevante

  • Participación en actividades de fabricación en múltiples proyectos europeos SABIO, PHODYE, INTOPSENS, PHOLOGIC, HELIOS.